四探針電阻測(cè)試儀所用的測(cè)量方法是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法，在半導(dǎo)體工藝中最為常用。其主要優(yōu)點(diǎn)在于設(shè)備簡(jiǎn)單，操作方便，精確度高，對(duì)樣品的幾何尺寸無(wú)嚴(yán)格要求。除了用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料的電阻率以外，在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中廣泛使用四探針法來(lái)測(cè)量擴(kuò)散層薄層電阻，以判斷擴(kuò)散層質(zhì)量是否符合設(shè)計(jì)要求。

　　四探針電阻測(cè)試儀的測(cè)試要根據(jù)不同材料特性需要，配置不同的探頭：

　　1、高耐磨碳化鎢探針探頭，測(cè)量硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；

　　2、專用探頭可測(cè)試電池極片等箔上涂層電阻率/方阻；

　　3、配合四端子測(cè)試夾具，測(cè)量電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻；

　　4、球形鍍金銅合金探針探頭，測(cè)量柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。

　　四探針電阻測(cè)試儀操作步驟：

　　1、先松開筆身尾部端側(cè)面的固定小螺絲，輕輕脫下尾部航空插口，保證探針頭部旋轉(zhuǎn)時(shí)同步旋轉(zhuǎn)，防止扭線斷線，短接。

　　2、輕輕擰開探針頭子，然后小心將銅片拉出，記住七片絕緣片與銅片之間的位置，將斷針從銅片卡口座里取下即可。

　　3、特別注意一定不能將銅片取下時(shí)的位置錯(cuò)亂，銅片位置按照航空頭四芯接線綠紅黃黑的順序一字排列，并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列，以免短接。

　　4、安裝時(shí)銅片及絕緣片按照拆下時(shí)的排列輕輕塞進(jìn)探針頭子，并先將探針頭子擰緊，再將尾部航空頭插上，并且旋緊小螺絲。

　　5、將針裝好，注意針頭針尾方向，尖頭為探針頭部。